基础信息
中文名:氮化钛;化学式:TiN;英文名:Titanium nitride;CAS号:25583-20-4。外观为金黄色固体或粉末,属于面心立方(NaCl型)晶体结构。相对密度约5.4 g/cm³,熔点约2930℃,显微硬度约2000~2400 HV。不溶于水和常规酸,微溶于王水,在空气中化学性质稳定
主要特点
一种宽禁带(约6.2 eV)III-V族半导体材料,具有极高的热导率(理论值可达320 W/m·K),是理想的散热与绝缘材料。薄膜形态下具备优异的压电特性与高声表面波速度,折射率约2.0~2.2。同时具备高硬度、耐高温、耐化学腐蚀及良好的抗辐射性能。与硅、碳化硅等半导体基底热膨胀系数匹配良好,兼容主流半导体工艺
应用范围
1. 功率电子与散热封装:作为高导热绝缘层,用于IGBT、LED及功率模块的陶瓷基板与封装散热2. 声表面波与射频器件:利用其压电特性与高声速,用于高频SAW滤波器、谐振器及5G射频前端器件3. 深紫外光电器件:作为宽禁带半导体,用于深紫外LED、紫外探测器及紫外激光器的功能层4. 半导体与微电子工艺:作为高K绝缘层、缓冲层或MEMS器件的结构层,用于集成电路与微机电系统5. 耐磨与耐腐蚀涂层:用于高温、强腐蚀环境下的机械部件表面防护及切削刀具涂层6. 光学与传感器件:用于紫外-可见光区的光学保护膜、红外窗口增透膜及高温传感器