主要特点

一种宽禁带绝缘材料，可见光至中红外波段均具有极高的透过率。薄膜形态下折射率约1.6~1.7（取决于晶型），常作为中折射率层或低折射率保护层。具备极高的机械硬度（莫氏硬度约9，仅次于金刚石）、优异的耐磨损与耐腐蚀性能。同时具有出色的电绝缘性、高抗激光损伤阈值以及优异的热稳定性，致密薄膜可作为高效的扩散阻挡层与水氧阻隔层，与多种基底结合力良好

应用范围

1. 光学干涉与减反射膜：作为中/低折射率层，与高折射率材料交替叠加，用于精密光学镜头、滤光片及防眩光玻璃等
2. 硬质耐磨与防护涂层：用于切削刀具、精密模具及机械部件表面，显著提升耐磨性与高温抗氧化能力
3. 半导体与微电子器件：作为高K栅介质层、刻蚀掩模、绝缘层或扩散阻挡层，用于集成电路制造
4. 新能源与封装阻隔层：用于OLED柔性封装的水氧阻隔层、锂离子电池电极涂层及光伏组件钝化层
5. 传感器与催化载体：利用其高比表面积与化学稳定性，用于气敏传感器基底与催化剂载体
6. 高温耐腐蚀涂层：用于航空航天、化工设备等恶劣环境下的高温防腐与绝缘保护