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基础信息

中文名:超薄钛薄膜;化学式:Ti;英文名:Ultra-thin Titanium film;CAS号:7440-32-6。外观为银白色金属光泽薄膜,常温下属于六方密排(HCP)晶系,具有优异的延展性与化学稳定性。薄膜厚度:5nm。基底:12英寸硅片

主要特点

一种典型的金属超薄膜,厚度仅为5nm,在纳米尺度下表现出显著的表面效应与尺寸效应,表面能极高,对硅基底及二氧化硅介质层附着力极强。极薄形态下,薄膜具有低应力、高平整度与良好的导电性,能够有效降低界面接触电阻。同时,依托12英寸大尺寸晶圆级镀膜工艺,薄膜具备极高的厚度均匀性与批次一致性,完美兼容主流半导体制造与先进封装产线

应用范围

1. 半导体超薄粘附层与阻挡层:作为金、铜等导电层的底层粘附层,用于集成电路与先进封装,增强界面结合力并抑制金属扩散
2. 先进封装种子层:
作为12英寸晶圆级封装、重布线层(RDL)或凸块下金属层(UBM)的电镀种子层
3. 微机电系统(MEMS):
作为MEMS器件中的超薄结构层或功能层,有效降低器件重量与残余应力
4. 高灵敏传感器与探测器:
利用5nm超薄钛膜极高的表面吸附活性,用于气体传感器、生物传感器及光电探测器件
5. 硅基光电子与超材料:
用于硅基光电子器件的界面工程或光学超材料结构层,实现特定的光学与电学响应
6. 量子器件与前沿研究:
作为超导量子比特或拓扑量子器件的界面材料,用于前沿物理与半导体研究

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