基础信息
中文名:铬;化学式:Cr;英文名:Chromium;CAS号:7440-47-3。外观为银白色金属光泽固体,属于体心立方(BCC)晶系。相对密度约7.19 g/cm³,熔点约1907℃,沸点约2671℃。不溶于水和硝酸,溶于稀盐酸和稀硫酸,常温下表面易形成致密钝化膜,化学性质稳定
主要特点
一种典型的过渡金属材料,薄膜形态下具备极高的硬度与优异的耐磨损性能。表面能自发形成致密的氧化铬钝化膜,赋予薄膜极佳的耐腐蚀与抗氧化能力。在微电子工艺中,铬对玻璃、硅及多种金属具有极强的附着力,是理想的下层粘附层材料。同时,具备良好的导电性与光学反射特性,与多种基底结合力极强,兼容主流微纳加工工艺
应用范围
1. 微电子粘附层与硬掩模:作为金、铜等导电层的底层粘附层,用于半导体器件与先进封装2. 耐磨与防腐涂层:用于切削刀具、精密模具、汽车零部件及液压杆的表面强化与防护3. 光学掩模与反射器件:用于半导体光罩(掩模版)遮光层、光学反射镜及红外光学器件4. 装饰与卫浴五金镀层:利用其优异的耐腐蚀性与金属光泽,用于汽车配件、五金件及卫浴产品的装饰镀铬5. 精密薄膜电阻器:利用其电阻特性与热稳定性,用于高精度片式电阻及电阻网络6. 薄膜光伏与显示器件:用于薄膜太阳能电池的阻挡层或显示面板的导电/遮光结构