主要特点

一种轻质难熔金属材料，薄膜形态下具备极高的比强度与优异的机械韧性。表面能自发形成致密的氧化钛钝化膜，赋予薄膜极佳的耐腐蚀性能。在微电子工艺中，钛对硅、二氧化硅及多种金属具有极强的附着力，是理想的下层粘附层与扩散阻挡层材料。同时，该薄膜具有优异的生物相容性与良好的导电导热性，与多种基底结合力极强，兼容主流微纳加工工艺

应用范围

1.  微电子粘附与阻挡层：作为金、银、铜等导电层的底层粘附层，用于半导体电极、互连及先进封装
2. 生物医疗与植入器件：利用其优异的生物相容性，用于骨科植入物、牙科种植体及医疗器械表面涂层
3. 航空航天与海洋防腐：用于航天器结构件、海洋工程装备的高强度耐腐蚀防护涂层
4. 光学与耐磨功能薄膜：用于光学干涉膜、耐磨装饰涂层及精密机械部件表面强化
5. 电化学与新能源电极：作为导电耐腐蚀基底，用于电解水电极、锂离子电池集流体涂层
6. 硬质涂层过渡层：作为TiN、TiC等超硬涂层的底层过渡金属，提升界面结合强度