基础信息
中文名:镁硼复合薄膜;成分组成:由镁(Mg)与硼(B)两种材质共溅射构成;英文名:Magnesium-Boron composite film;CAS号:本产品为多靶共溅射混合薄膜,无单一CAS号。外观为深灰色至黑色固体,通常为非晶或纳米晶结构,化学性质较活泼,需避免长时间暴露于潮湿空气
主要特点
一种典型的轻质功能材料,薄膜形态下由镁与硼两种材质共同构成。通过多靶共溅射工艺,两种元素在基底上均匀混合。镁元素具备优异的储氢能力与p型掺杂特性,硼元素提供高热中子吸收截面与超高硬度。薄膜与单抛硅基底附着力强,兼容硅基微纳加工工艺
应用范围
1. 超导材料与器件:作为超导薄膜的前驱体,用于超导量子干涉器件、超导纳米线单光子探测器及射频谐振腔2. 半导体p型掺杂:作为硅基或化合物半导体的掺杂源,用于制备p型导电层与器件3. 固态储氢与新能源:作为储氢合金薄膜,用于固态储氢系统及氢能燃料电池4. 中子辐射屏蔽:利用硼元素的高热中子吸收截面,用于核辐射防护涂层5. 耐磨与硬质涂层:利用硼元素的高硬度,用于精密机械部件的表面强化