核心优势与
综合性能

精准的光学谐振与滤波：利用底部Al反射镜与顶部Ti/Si半透明层构成微腔，特定波长的光在TiO₂间隔层中发生多次反射与干涉，实现窄带滤波或特定波段的高效吸收
高度可调的谐振特性：通过精准控制TiO₂腔长与Ti层的超薄厚度，可精准调控谐振峰位、半高宽（FWHM）及特定波长的吸收/透射率
光场局域增强效应：在谐振波长处，光场被局域在微腔内，可显著增强光与物质的相互作用，利于提升传感灵敏度或非线性光学效应
膜层致密与界面清晰：采用PVD纳米级镀膜工艺，各层界面清晰、厚度精准可控，有效保障批量生产的光谱一致性与稳定性

典型应用

1. 窄带滤光片与光学滤波器：利用FP腔的干涉特性，用于高精度光谱仪、高光谱成像、激光雷达等需要精确波长选择的光学系统
2. 光学完美吸收器/热发射器：利用光场局域效应在特定波段实现高吸收，应用于红外探测、辐射制冷或热光伏系统
3. 高灵敏光学传感与生化检测：微腔谐振峰对环境折射率变化极为敏感，适用于无标记生化分子检测与高灵敏度折射率传感器
4. 微纳光学器件与调制器：作为集成光子回路中的关键单元，用于光信号的调制、滤波与路由
5. 激光光学谐振腔：作为激光器的端镜或谐振腔结构，用于特定波长激光的振荡与模式选择